| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束刻蚀系统 | ||
| 品目 |
货物/通用设备/电气设备/电气机械设备/电气物理设备 |
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| 采购单位 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | ||
| 行政区域 | 上海市 | 公告时间 | 2021年07月06日 20:12 |
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一、项目基本情况 预算金额：500.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：500.0000000 万元（人民币） 采购需求： 针对现代微纳加工技术中的金属及其化合物的物理刻蚀工艺，我们需要一台套利用Ar离子进行物理刻蚀的离子束刻蚀系统，可适用于最大6英寸晶圆，也适用小样片。该系统具备较高的刻蚀均匀性，6英寸晶圆范围内刻蚀不均匀性优于±2%。同时该设备带有Load lock系统、预真空自动传输系统、控制系统与软件系统。具体详见招标文件。 合同履行期限：合同签订后6个月内 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小企业发展、支持监狱、戒毒企业发展、促进残疾人就业、优先采购贫困地区农副产品等政府采购政策。 3.本项目的特定资格要求：1）近三年内（本项目招标截止期前）被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府招标网”网站列入政府招标严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；2）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一标包投标或者未划分标包的同一项目；3) 具有ISO9000同等或以上质量认证体系。 三、 （北京时间，法定节假日除外） 六、其他补充事宜 现场购买：有意向的投标人可携带报名表（详见招标公告附件：购买标书登记表）、营业执照复印件（加盖公章）、法人代表授权书原件、被授权代表身份证（复印件加盖公章））至上海市共和新路1301号C座108室进行报名 网上购买：有意向的投标人将报名表（详见招标公告附件：购买标书登记表）、营业执照扫描件、法定代表人（单位负责人）授权委托书原件、委托代理人身份证明（复印件加盖公章）的扫描件和购买标书登记表（详见附件） 招标文件售价：每包件售价人民币 500 元（招标文件售后不退）。 注：我公司只接受公司转账，不接受个人转账。 开户名：上海中招招标 银行帐号：0208014210004789 摘要：STC21A221标书费或投标保证金 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 2.采购代理机构信息 名 称：上海中招招标 地 3.项目 电 没有在 中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后根据招标公告的相应说明获取招标文件！ 联系人：李杨 打赏 更多>同类资讯
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