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中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束刻蚀系统公开招标公告

   日期:2021-07-08     来源:中国电力招标    作者:dlztb    浏览:0    
核心提示:公告信息: 采购项目名称中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束刻蚀系统品目 货物/通用设备/电气设备/电气机械设备/电气物
公告信息:
采购项目名称 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束刻蚀系统
品目

货物/通用设备/电气设备/电气机械设备/电气物理设备

采购单位 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
行政区域 上海市 公告时间 2021年07月06日 20:12

一、项目基本情况
预算金额:500.0000000 万元(人民币)
最高限价(如有):500.0000000 万元(人民币)
采购需求:
针对现代微纳加工技术中的金属及其化合物的物理刻蚀工艺,我们需要一台套利用Ar离子进行物理刻蚀的离子束刻蚀系统,可适用于最大6英寸晶圆,也适用小样片。该系统具备较高的刻蚀均匀性,6英寸晶圆范围内刻蚀不均匀性优于±2%。同时该设备带有Load lock系统、预真空自动传输系统、控制系统与软件系统。具体详见招标文件。
合同履行期限:合同签订后6个月内
本项目( 不接受   )联合体投标。
二、申请人的资格要求:
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
2.落实政府采购政策需满足的资格要求:
节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小企业发展、支持监狱、戒毒企业发展、促进残疾人就业、优先采购贫困地区农副产品等政府采购政策。
3.本项目的特定资格要求:1)近三年内(本项目招标截止期前)被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府招标网”网站列入政府招标严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;2)单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位,不得参加同一标包投标或者未划分标包的同一项目;3) 具有ISO9000同等或以上质量认证体系。
三、 (北京时间,法定节假日除外)

六、其他补充事宜
现场购买:有意向的投标人可携带报名表(详见招标公告附件:购买标书登记表)、营业执照复印件(加盖公章)、法人代表授权书原件、被授权代表身份证(复印件加盖公章))至上海市共和新路1301号C座108室进行报名
 网上购买:有意向的投标人将报名表(详见招标公告附件:购买标书登记表)、营业执照扫描件、法定代表人(单位负责人)授权委托书原件、委托代理人身份证明(复印件加盖公章)的扫描件和购买标书登记表(详见附件)
招标文件售价:每包件售价人民币 500 元(招标文件售后不退)。
注:我公司只接受公司转账,不接受个人转账。
开户名:上海中招招标
银行帐号:0208014210004789
摘要:STC21A221标书费或投标保证金
七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所     
2.采购代理机构信息
名 称:上海中招招标             
地  3.项目 电 

没有在 中国电力招标采购网(www.dlztb.com)上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后根据招标公告的相应说明获取招标文件!

联系人:李杨
咨询电话:010-51957458 
手 机:13683233285 
传 真:010-51957412 
QQ:1211306049 
微信:Li13683233285
邮箱:1211306049@qq.com

来源:中国电力招标采购网 编辑:mof.go
 
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