项目概况
东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购 招标项目的潜在投标人应在南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层一、项目基本情况
项目编号：JSHC-2021090615C6
项目
预算金额：504.0000000 万元（人民币）
采购需求：
东南大学微纳系统国际创新中心采购无掩膜激光直写光刻机一台（套），主要技术要求如下：
1.设备组成：1、温控防尘罩；2、高精密透镜模块及DMD模块；3、半导体激光器（Diode Laser）；4、工作平台装置；5、定位激光干涉仪；6、主机电器控制装置；7、图形转换软件及系统操作计算机；8、大理石或花岗岩机座及气浮减震装置。
2.须具备两种不同波长的光源；曝光用光源及波长：(1) 405nm Diode Laser；(2) 375nm UV Diode Laser。
3.直写速度：在100×100mm的刻写幅面下，须达到≤35 min；可进行128阶灰度曝光；配置高深宽比模块，透过调整聚焦深度，以优化膜厚较厚的光刻胶侧壁粗造度；配置单元图形对准功能，对晶圆上的各个单元图形进行逐一对准，并对每个单元图形进行逐一曝光。
最大直写面积≥ 200mm x 200mm；配置背向对准功能，背向对准精度≤1000nm。
合同履行期限：详见采购文件
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
非专门面向中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。
3.本项目的特定资格要求：无
三、 （北京时间，法定节假日除外）
获取采购文件
售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2021年11月05日 14点30分（北京时间）
开标时间：2021年11月05日 14点30分（北京时间）
六、
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相关说明下载招标文件！项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：18811547188
QQ:1211306049
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
来源：中国电力招标采购网 编辑：mof.go