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东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购公开招标公告

   日期:2021-10-13     来源:中国电力招标    作者:dlztb    浏览:0    
核心提示:项目概况 东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购 招标项目的潜在投标人应在南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8

项目概况

东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购 招标项目的潜在投标人应在南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层

一、项目基本情况

项目编号:JSHC-2021090615C6

项目

预算金额:504.0000000 万元(人民币)

采购需求:

东南大学微纳系统国际创新中心采购无掩膜激光直写光刻机一台(套),主要技术要求如下:

1.设备组成:1、温控防尘罩;2、高精密透镜模块及DMD模块;3、半导体激光器(Diode Laser);4、工作平台装置;5、定位激光干涉仪;6、主机电器控制装置;7、图形转换软件及系统操作计算机;8、大理石或花岗岩机座及气浮减震装置。

2.须具备两种不同波长的光源;曝光用光源及波长:(1) 405nm Diode Laser;(2) 375nm UV Diode Laser。

3.直写速度:在100×100mm的刻写幅面下,须达到≤35 min;可进行128阶灰度曝光;配置高深宽比模块,透过调整聚焦深度,以优化膜厚较厚的光刻胶侧壁粗造度;配置单元图形对准功能,对晶圆上的各个单元图形进行逐一对准,并对每个单元图形进行逐一曝光。

最大直写面积≥ 200mm x 200mm;配置背向对准功能,背向对准精度≤1000nm。

合同履行期限:详见采购文件

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

非专门面向中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。

3.本项目的特定资格要求:无

三、 (北京时间,法定节假日除外)

获取采购文件

售价:¥600.0 元,本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间:2021年11月05日 14点30分(北京时间)

开标时间:2021年11月05日 14点30分(北京时间)

六、

未曾在中国电力招标采购网(www.dlztb.com)上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相关说明下载招标文件!

项目 联系人:李杨  
咨询电话:010-51957458 
传真:010-51957412 
手机:18811547188
QQ:1211306049 


备注:欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后,查看项目业主,招标公告并下载资格预审范围,资质要求,招标清单,报名申请表等。为保证您能够顺利投标,具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准,以招标业主的解答为准本。

来源:中国电力招标采购网 编辑:mof.go
 
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