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东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购(二次)公开招标公告

   日期:2021-11-15     来源:中国电力招标    作者:dlztb    浏览:0    
核心提示:项目概况 东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购 招标项目的潜在投标人应在南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8

项目概况

东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购 招标项目的潜在投标人应在南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层

一、项目基本情况

项目编号:JSHC-2021090615C6

项目

预算金额:504.0000000 万元(人民币)

采购需求:

东南大学微纳系统国际创新中心采购无掩膜激光直写光刻机一台(套),主要技术要求如下:

1.设备组成:1、温控防尘罩;2、高精密透镜模块及DMD模块;3、半导体激光器(Diode Laser);4、工作平台装置;5、定位激光干涉仪;6、主机电器控制装置;7、图形转换软件及系统操作计算机;8、大理石或花岗岩机座及气浮减震装置。

2.须具备两种不同波长的光源;曝光用光源及波长:(1) 405nm Diode Laser;(2) 375nm UV Diode Laser。

3.直写速度:在100×100mm的刻写幅面下,须达到≤35 min;可进行128阶灰度曝光;配置高深宽比模块,透过调整聚焦深度,以优化膜厚较厚的光刻胶侧壁粗造度;配置单元图形对准功能,对晶圆上的各个单元图形进行逐一对准,并对每个单元图形进行逐一曝光。

最大直写面积≥ 200mm x 200mm;配置背向对准功能,背向对准精度≤1000nm。

合同履行期限:详见采购文件

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

非专门面向中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。

3.本项目的特定资格要求:无

三、 (北京时间,法定节假日除外)

获取采购文件

售价:¥600.0 元,本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间:2021年12月08日 09点30分(北京时间)

开标时间:2021年12月08日 09点30分(北京时间)

六、

未曾在中国电力招标采购网(www.dlztb.com)上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相关说明下载招标文件!

项目 联系人:李杨  
咨询电话:010-51957458 
传真:010-51957412 
手机:18811547188
QQ:1211306049 


备注:欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后,查看项目业主,招标公告并下载资格预审范围,资质要求,招标清单,报名申请表等。为保证您能够顺利投标,具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准,以招标业主的解答为准本。

来源:中国电力招标采购网 编辑:mof.go
 
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