受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-07-03在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。 1、招标条件 项目概况:宜兴中车时代半导体 CVD设备项目 资金到位或资金来源落实情况:已落实 项目已具备招标条件的说明:已具备 2、招标内容 招标项目编号:0623-2340J1110146 招标项目名称:宜兴中车时代半导体 CVD设备项目 项目实施地点:中国江苏省 招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | MOCVD | 3台 | 该设备配置PVD钛工艺腔和MOCVD氮化钛工艺腔用于IGBT和FRD淀积Ti和TiN工艺 | 详见技术规格书 |
| 2 | WCVD | 2台 | 用于在IGBT硅片上沉积钨。 | 详见技术规格书 |
| 3 | PECVD | 4台 | 用于在IGBT硅片上沉积BPSG、PSG、USG、SI3N4或一些其它的电介质层 | 详见技术规格书 |
3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩:1、投标人具有所投设备的制造或销售资格，制造商近三年（以投标截止时间前36个月为有效，以合同或订单签订时间或制造商出具的业绩明细表等其他有效证明材料的落款时间为准）MOCVD、WCVD、PECVD设备业绩均不低于20台。（投标文件中必须提供合同或订单复印件或制造商出具的其他有效证明材料，如业绩明细表） 2、投标人如为贸易公司，必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》。 是否接受联合体投标:不接受 未领购招标文件是否可以参加投标:不可以 4、
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来源：中国电力招标采购网 编辑：hnbidding