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上海交通大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统(ICPECVD)国际招标公告(1)

   日期:2023-11-24     来源:中国电力招标    作者:dlztb    浏览:0    
核心提示:对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023-11-24在 公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标
对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023-11-24在 公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:上海交通大学采购1套感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统(ICPECVD),该设备通过感应耦合等离子体(ICP)方式产生高密度等离子体,在硅及化合物半导体等衬底上沉积高质量的介质薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0773-2341SHHW0110招标项目名称:上海交通大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统(ICPECVD)项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):
序号 产品名称 数量 简要技术规格备注
1 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统(ICPECVD) 1套 2.1 反应腔室:2.1.1 由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率。侧壁带加热功能。★2.1.2 样品尺寸:最大8英寸直径晶圆、向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片;不同尺寸样片之间的切换、无需反应腔室的开腔破真空。其余详见“第八章 货物需求一览表及技术规格”预算金额:人民币335.00万元。 最高限价:人民币335.00万元。 交货期:签订合同后11个月内 交付 邮件主题包含:投标人名称+项目编号+项目名称,邮件附件包含:网上转账凭证。发 5、投标文件的递交投标截止时间(开标时间):2023-12-15 09:30投标文件 评标结果将在必联网和 公示。7、联系方式招标人:上海交通大学地址:上海市闵行区东川路800号

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项目 联系人:李杨  
咨询电话:010-51957458 
传真:010-51957412 
手机:13683233285 
QQ:1211306049 
微信:Li13683233285 邮箱:1211306049@qq.com

备注:欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后,查看项目业主,招标公告,中标公示等,并下载资格预审范围,资质要求,招标清单,报名申请表等。为保证您能够顺利投标,具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准,以招标业主的解答为准本。

编辑:chinabidding.co
 
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