序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 巨量转移显影浓度管理装置 | 2台 | (1)本系统共购买2套,详细机台配置如下:2.38% TMAH显影浓度管理装置1套;0.043% KOH显影浓度管理装置1套;系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。 (2)设备高度必须<2m。 (3)浓度检测仪器需有除泡装置。 | 0730-234011020181/21 |
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