序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 离子注入机 | 2台 | (1)离子注入机主要用于G6代玻璃基板的有源矩阵有机发光二极体离子注入工艺,包含MOS管的源极/漏极注入、LDD注入、存储电容注入、阈值电压调节注入、离子导电化等; (2)玻璃基板尺寸:1850mm (长) * 1500mm (宽) * (厚度:0.4mm~0.7mm); (3)P-:B+8kev-4.2e11: ≤ 60秒。 | 0730-244010020007-04 |
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