1.1项目概况
青海黄河水电新能源分公司是一家电子级多晶硅生产企业,电子级多晶硅产能3300吨/年。现有电子级多晶硅产品已批量应用至3-6英寸、8英寸半导体硅片制造领域,并通过12英寸半导体硅片实验室测试和小批量供货。本项目旨在现有电子级多晶硅生产线的基础上,借助先进的数值模拟软件,对CVD还原炉开展热场、流场稳定性及硅棒致密性研究,主要包括对9对棒还原炉进行三维建模,研究最佳的喷嘴分布、尺寸以及进料配比和电流曲线,研究最稳定的流场、热场,提高还原过程CVD化学气相沉积的均匀性和稳定性,降低电子级多晶硅棒的米花比例,进而提高硅棒致密度和可利用率,同时形成9对棒还原炉建模分析和工艺优化技术方案。
1.2项目招标范围及要求
1.2.1招标范围
1.2.1.1青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司现有9对棒还原炉生产装置基础上,利用先进的数值模拟软件对还原炉内热场、流场稳定性及硅棒致密性进行建模分析,模拟项目主要包括9对棒还原炉内气体流动、辐射传热、传导传热、对流传热、电流棒加热以及对硅沉积的气相和表面化学反应等内容,研究确定最佳的喷嘴分布、尺寸以及进料配比和电流曲线,降低电子级多晶硅棒的杂质含量及米花比例,提高硅棒致密度和可利用率,同时形成9对棒还原炉建模分析和工艺优化技术方案。
1.2.1.2研究要求
1.2.1.2.1通过对9对棒还原炉内喷嘴建模分析,在不改变还原炉结构、炉内喷嘴布置及电源系统等硬件条件的情况下,对喷嘴的孔径、高度、结构进行优化,开展炉内流场、热场模拟,使炉内温度和边界层厚度不均匀性得到优化。
1.2.1.2.2通过对9对棒还原炉内进料配比和电流曲线进行分析,计算得出最适宜的工艺配方,提升硅棒沉积速率,提高沉积层致密度,降低电子级多晶硅棒的米花比例。
1.2.1.2.3提供项目实施阶段的模拟软件临时许可使用权及相关培训技术服务。
1.2.2项目工期:
合同生效后3个月内提交供买方审核的初版技术方案;买方审核并出具修改意见后,于7日内提供最终版技术方案。
1.3资金来源
本项目利用自有资金建设,资金已落实。
1.4投标人资格
1.4.1法人地位
投标人必须是在中华人民共和国市场监管部门注册的,具有独立法人和一般纳税人资格的多晶硅生长、单晶硅生长等专业领域定制化的模拟仿真软件开发(或授权)项目合作和技术咨询服务企业或代理商。
本项目不接受联合体投标,不允许转让及分包。
1.4.2商业信誉
投标人应具有良好的商业信誉。不存在被列为失信被执行人的情形,具体认定以信用中国(www.creditchina.gov.cn)网站检索结果为准。
1.5业绩
投标人在投标基准日期近五年内,具有至少1项在多晶硅还原、硅单晶生长等专业领域技术服务业绩(附合同复印件)。
1.6招标文件的获取
1.6.1招标文件发售方式
本项目实行在线售卖招标文件。凡有意参加投标者,请于购买招标文件时间内进入报名参与购买招标文件,不接受现场购买。
1.6.2招标文件发售时间
2024年5月24日18:00时至2024年5月30日0:00时。
热线服务:上午8:00-下午22:00(工作日)
上午8:30~11:30下午13:30~17:30(周末)
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